近日我們在合肥某研究院成功安裝一套氣氛型高溫探針臺，該探針臺嚴格按照客戶的使用要求設計制作，得到客戶的充分可定。

技術(shù)指標：
1· 溫度范圍：室溫-350℃；
2· 控溫精度：0.5-1K，和樣品臺的水冷回路水溫穩(wěn)定性相關，盡量做到*低。
3· 樣品臺尺寸：51mm
4· 標準K型熱電偶
5· 真空度：10E-3Pa；
6· 提供真空抽口*1、氣體入口*1、真空釋放口*1；
7· 匹配觀察窗：1
8· 匹配探針臂：2；探針臂移動精度：10μm；針尖：1μm；探針移動范圍：±12.5mm；
9· 另留2個探針臂接口備用；
10.樣品臺水冷回路；
11.探針臂接口：真空型3同軸接口，所有電學線路采用屏蔽設計，測試精度：pA
12· 樣品：51mm  *小1mm  *小電極100um
13· 4升真空，1臺 ，顯微鏡1臺